无篮式湿法设备
无篮式湿法设备
技术特点 Features
· PR stripper，Nit Stripper,，Pre-Clean，B-Clean，Metal etching，Recycle，Post CMP clean, EKC stripper，Post Ash Polymer Removal .
· PA adder, 0.16um <10ea u% <3% 氧化物刻蚀 SECS GEM, RMS, iEMS, FDC Scheduler.
上一个：
有篮式湿法设备
下一个：
半导体五金零部件表面处理设备
TOP