有篮式湿法设备
有篮式湿法设备
技术特点 Features
· PR stripper，Nit Stripper，Pre Clean，Metal Etch,，EKC stripper，Post Ash Polymer Removal， Wafer Recycle, Carrier Clean.
· PA adder, >0.16um <30ea u% <3% 氧化物刻蚀 SECS GEM, RMS, iEMS, FDC Scheduler.
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单片湿法刻蚀/清洁设备
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无篮式湿法设备
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