光罩清洗设备
光罩清洗设备
技术特点 Features
· 正面Force down Brush、rinse，背面pellical氮气保护。
· PA adder, 0.3µm ≤10ea，适用天车料盒、运输料盒。
· 100%部件本土化，本地软件团队，有独立的设计和专利。
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4腔单晶圆水平电镀工艺设备
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